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DEDeutschland·Auftraggeber: Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften

Plasma Ashing System

Offen für Angebote·25 Okt. 2026

The Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control electronics, and software. The system shall be ready for automated operation, i.e., the hardware components have to be equipped with appropriate interfaces for computer connection.

Veröffentlicht

25.10.2026

Offen für Angebote

25.10.2026

Lieferung von flüssigem Helium (2025)

Offen für Angebote·Oct 25

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Lieferung von flüssigem Stickstoff

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Atomic Layer Deposition (ALD) System

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Atomic Force Microscope (AFM)

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