Deutschland·Auftraggeber: Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften

Atomic Layer Deposition (ALD) System

Offen für Angebote·25 Okt. 2026

Das Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (WMI) wird ein Atomic Layer Deposition (ALD)-System zur Herstellung integrierter Quantenschaltkreise erwerben. Das System sollte in der Lage sein, dreidimensionale Strukturen wie zum Beispiel TSVs (Through-Silicium Vias) mit hohem Aspektverhältnis (durch ALD-Wachstum) mit einem hochwertigen supraleitenden Film konform zu beschichten.

Veröffentlicht

25.10.2026

Offen für Angebote

25.10.2026

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