Vokietija·Perkančioji organizacija: Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM

Deposition Tool 8 Inch

Uždaryta·21 rugp. 2026

The Technical University of Munich - Chair of Technical Physics E23/WMI will acquire a UHV cluster System for the fabrication of superconducting circuits on 8 inch'' wafers. The system must provide UHV conditions and has to include an HV load-lock chamber, a central handling chamber, a UHV chamber for the evaporation of Al thin films, a UHV chamber for sputtering of superconductors, a UHV chamber for oxidation, a UHV chamber for Ar ion milling, and a flipping station. The system must allow metalizing both sides of the wafers in situ, with minimal backside particle contamination. The wafers should only be touched on the side (edge gripping).

Paskelbta

21.08.2026

Priima pasiūlymus

21.08.2026

Sąlygos atnaujintos

21.08.2026

Terminas

05.10.2026

Cryogen-free Dilution Refrigerator with Vector Magnet

Priima pasiūlymus·Oct 25

—

Two Cryogen-free Dilution Refrigerators

Uždaryta·Oct 8

—

Cryogen-free Dilution Refrigerator with Optics

Uždaryta·Oct 6

—

Raskite pirkimus, kuriuose verta dalyvauti.

Susikurkite paskyrą, kad galėtumėte išnagrinėti šį pirkimą ir rasti panašių galimybių.

Pirkimo dokumentaiPeržiūrėkite turimus failus vienoje darbo aplinkoje.
Reikalavimai ir rizikosUžsakykite dokumentų analizę su nuorodomis į šaltinius.
Jūsų pirkimų atrankaTęskite su pasirinktomis rinkomis ir veiklos sritimis.