Vokietija·Perkančioji organizacija: Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften

Atomic Layer Deposition (ALD) System

Priima pasiūlymus·25 spal. 2026

Das Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (WMI) wird ein Atomic Layer Deposition (ALD)-System zur Herstellung integrierter Quantenschaltkreise erwerben. Das System sollte in der Lage sein, dreidimensionale Strukturen wie zum Beispiel TSVs (Through-Silicium Vias) mit hohem Aspektverhältnis (durch ALD-Wachstum) mit einem hochwertigen supraleitenden Film konform zu beschichten.

Paskelbta

25.10.2026

Priima pasiūlymus

25.10.2026

Lieferung von flüssigem Helium

Priima pasiūlymus·Oct 25

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Lieferung von flüssigem Stickstoff (2025)

Priima pasiūlymus·Oct 25

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Lieferung von flüssigem Helium (2025)

Priima pasiūlymus·Oct 25

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Elektronenstrahl-Lithographiesystem

Priima pasiūlymus·Oct 25

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Plasma Ashing System

Priima pasiūlymus·Oct 25

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Atomic Force Microscope (AFM)

Priima pasiūlymus·Oct 25

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