Vokietija·Perkančioji organizacija: Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften

Elektronenstrahl-Lithographiesystem

Priima pasiūlymus·25 spal. 2026

Elektronenstrahl-Lithographieanlage für die Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen für die Forschung und Prototypenentwicklung mit hoher Auflösung. Anwendungsfelder reichen von der Herstellung von photonischen Schaltkreisen bis hin zu supraleitenden Quantenschaltkreisen mit Strukturgrößen unter 100nm und einer erforderlichen Genauigkeit im nm-Bereich.

Paskelbta

25.10.2026

Priima pasiūlymus

25.10.2026

Lieferung von flüssigem Helium

Priima pasiūlymus·Oct 25

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Lieferung von flüssigem Stickstoff (2025)

Priima pasiūlymus·Oct 25

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Lieferung von flüssigem Helium (2025)

Priima pasiūlymus·Oct 25

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Atomic Layer Deposition (ALD) System

Priima pasiūlymus·Oct 25

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Plasma Ashing System

Priima pasiūlymus·Oct 25

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Atomic Force Microscope (AFM)

Priima pasiūlymus·Oct 25

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