Rasterkraftmikroskop für die Untersuchung von Oberflächen von mikro- und nanostrukturierten Quantenbauteilen mit hoher Auflösung und auf Wafern mit einem Durchmesser von bis zu 200mm. Anwendungsfelder reichen von der Untersuchung von photonischen Schaltkreisen bis hin zu supraleitenden Quantenschaltkreisen.
Opublikowano
25.10.2026
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