Otnox
DETyskland·Innkjøper: Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM

Deposition Tool 8 Inch

Lukket·21 aug. 2026

The Technical University of Munich - Chair of Technical Physics E23/WMI will acquire a UHV cluster System for the fabrication of superconducting circuits on 8 inch'' wafers. The system must provide UHV conditions and has to include an HV load-lock chamber, a central handling chamber, a UHV chamber for the evaporation of Al thin films, a UHV chamber for sputtering of superconductors, a UHV chamber for oxidation, a UHV chamber for Ar ion milling, and a flipping station. The system must allow metalizing both sides of the wafers in situ, with minimal backside particle contamination. The wafers should only be touched on the side (edge gripping).

Publisert

21.08.2026

Åpen for tilbud

21.08.2026

Vilkår oppdatert

21.08.2026

Frist

05.10.2026

Cryogen-free Dilution Refrigerator with Vector Magnet

Åpen for tilbud·Oct 25

—

Two Cryogen-free Dilution Refrigerators

Lukket·Oct 8

—

Cryogen-free Dilution Refrigerator with Optics

Lukket·Oct 6

—
Otnox

Finn anskaffelser det er verdt å delta i.

Opprett en konto for å undersøke anskaffelsen og finne lignende muligheter.

  • AnskaffelsesdokumenterSe tilgjengelige filer i ett arbeidsområde.
  • Krav og risikoerBestill dokumentanalyse med henvisninger til kildene.
  • Ditt utvalg av anskaffelserFortsett med dine valgte markeder og bransjer.