Duitsland·Aanbesteder: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikFBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)
Für die Umsetzung aktueller Forschungs- und Entwicklungsarbeiten wird eine ALE-Trockenätzanlage zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern benötigt. Die Anlage soll hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich ermöglichen.
Gepubliceerd
13.09.2026
Open voor inschrijvingen
13.09.2026
Lieferung eines Rasterelektronenmikroskop mit EDXS-Analysesystem einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)
Planungsleistungen
Beschaffung von Hardware im Rahmen des Vorhabens BECCAL
APECS FBH-01.3 ION BEAM ETCHING
Designstudie
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