Elektronilitografiapäivityspaketti kenttäemissio-pyyhkäisyelektronimikroskooppiin

Kyseessä on Raith Elphy Quantum -laajennusosan hankinta Turun yliopiston Thermo Scientific Apreo S -kenttäemissio-pyyhkäisyelektronimikroskooppiin, mahdollistaen elektronisädelitografian olemassa olevalla laitteistolla. Elektronisädelitografia täydentää yliopiston maskittomaan valmistukseen soveltuvaa infrastruktuuria, mahdollistamalla nanometrikokoluokassa olevien rakenteiden valmistuksen. Elphy Quantum -päivityspaketti sisältää tietokoneen, joka on laitevalmistajan (Raith GmbH, Saksa) puolesta varustettu lisäkortilla sekä ohjelmistolla, jolla voidaan ulkoisesti ohjata yliopiston Apreo-mikroskooppia. Tämän avulla on mahdollista käyttää elektronisädettä sopivien fotoresistien kanssa erilaisille substraateille haluttujen rakenteiden valottamiseen ilman maskeja.