Beschaffung einer integrierten Nanoprobing-Plattform (4-Bot) mit Advanced Electrical Failure Analysis (EFA) und Vacuum Transfer Module (VTM) für hochsensitive, ortsaufgelöste elektrische Untersuchungen an unterschiedlichen Materialien für Mikroelektronik und Energieanwendungen in einem kombinierten SEM/FIB-System. Nanoprobing Plattform
Zveřejněno
31.10.2026
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31.10.2026
Termín
01.12.2026
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